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Park NX20 原子力顯微鏡

核心參數

  • 儀器种类 原子力顯微鏡
  • 樣品台移動範圍200mm*200mm (可选300mm*300mm)
  • 樣品尺寸直徑≤200mm(可選300mm)
  • 定位檢測噪聲-
  • 産地类别 进口儀器

Park帕克原子力顯微鏡 查看聯系方式

  • 營業執照已審核
  • 品牌性質生産商
  • 銀牌會員第5年
  • 信用積分0
  • 反饋速度21-24小時
  • 同类儀器12台
400-860-5168轉3445 掃碼撥打儀器信息网认证,请放心拨打

産品介紹

超精密原子力顯微鏡

park nx20 compress.png


Park NX20

缺陷分析的最佳選擇

 

作为一款缺陷形貌分析的精密测量儀器,其主要目的是对样品进行缺陷检测。

而儀器所提供的数据不能允许任何错误的存在。Park NX20,这款全球最精密

的大型样品原子力顯微鏡,凭借着出色的数据准确性,在半导体和超平样品行

業中大受贊揚。200mm樣品全尺寸自動測量,無需人工操作。

 

最強大全面的分析功能

具備獨一無二的功能,可快速幫助客戶找到産品失效的原因,並幫助

客户制定出更多具有创意的解決方案。无与伦比的精密度为您带来高分辨率数

據,讓您能夠更加專注于工作。與此同時,真正非接觸掃描模式讓探針尖端更耐用,無需爲頻繁更換探針而耗費大量的時間和金錢。

 

 

即便是第一次接觸原子顯微鏡的工程師也易于操作

 

ParkNX20擁有業界最爲便捷的設計和自動界面,讓你在使用時無需花費大量

的時間和精力,也不用爲此而時時不停的指導初學者。借助這一系列特點,您

可以更加專注于解決更爲重大的問題,並爲客戶提供及時且富有洞察力的失效

分析報告。



Park Nx 20

創新工作的創新特征


为FA和研究实验室提供精准的形貌测量解決方案


缺陷檢查成像和分析

高分辨率電子掃描模式

對樣品和基片進行表面粗糙度測量

樣品側壁三維結構測量


低噪音Z探測器可精確測量AFM表面形貌


非接觸模式,降低針尖磨損,減少換探針時間

非接觸模式下的快速缺陷成像

業內領先的三維結構測量的解耦XY掃瞄系統

通過使用熱匹配的組件,盡量減少系統漂移和遲滯現象


低噪聲Z探測器可精確測量AFM表面形貌


業界領先的低噪聲Z檢測器測量樣品表面形貌

沒有過沿過沖和壓電蠕變誤差的真正樣品表面形貌

即使是高速掃描也可以保持精確的表面高度

行業領先的前向和後向掃描間隙橫向漂移小于0.15%


用真正的非接觸掃描方式節省成本


在一般用途和缺陷成像中,具有普通掃描模式10倍或更長的針尖使用壽命

減少針尖的尖端摩損

最真實的再現樣品微觀三維形貌,減少樣品在掃描過程中的損壞或變形



Park NX20

AFM技術


行業領先的低噪聲Z軸探測器


超低噪聲Z探測器,噪音水平低于0.02nm,從而達成非常精准樣品形貌成像,

没有边沿过冲无须校准。 NX20为您提供好的数据同时也为您节省宝贵的时间

擷取2.PNG


真正非接觸模式TM可保護針尖鋒利度


原子力顯微鏡的针尖本身很脆弱,在扫描过程中,针尖磨损会逐渐降图片质量和分辨率。

測量表面軟的樣品時,針尖也會破壞樣品並生成不准確的樣品高度測量數據。

作为Park原子力顯微鏡最独特的一种扫描模式,

真正非接觸模式TM可持續獲得高分辨率且精確的數據,同時保持針尖的完整性。



Park NX20

凝聚着最具创新的AFM技術


NX20EquippedWithTheMostInnovativeAFMtechnology.jpg


100 μm x μm扫描范围的XY平板掃描器

XY平板掃描器,采用壓電堆棧設計,減少傳統掃描過程中XY的正交影響

,具有高速的影響頻率,實現精確的樣品奈米級掃描。


高速Z軸掃描器,掃描範圍達15μm

高强度压电堆栈和饶性设计,标准Z轴掃描器的共振频率大于9kHz(一般为10.5kHz)且探针的Z轴扫描速率不低于48mm/秒。 Z轴最大扫描范围可从标准的15μm扩展至30μm(长范围Z扫描头)。


低噪声XYZ位置傳感器

低噪聲XYZ閉環掃描可將正向掃描和反向掃描間隙降至掃描範圍的0.15%以下。


集成編碼器的XY自動樣品載品

編碼器可用于所有自動樣品載台,並可保證更高的重複定位精度,

從而可更精確地控制樣品測量位置。

XY馬達動工作時分辨率爲1μm,重複率爲2μm。

Z馬達運動的分辨率爲0.1μm,重複率爲1μm。


自動多點樣品掃描

借助驅動樣品台,可編程步進掃描,多區域成像,

以下是它的工作流程:


1.掃描成像

2.擡起懸臂

3.移動驅動平台到設定位置

4.進針

5.重新設定位置掃描成像


該自動化功能大大減少掃描過程中人工的移動樣品,從而縮短測試時間,提高生産率。


操作方便的樣品台

獨特的頭部設計,可使用從側面操作樣品及探針,

根據所選擇樣品台的行程範圍,用品在樣品台上可放置的最大樣品直徑200mm。


用于拓展掃描模式易插拔擴展槽

你只需要將可選模塊插入擴展槽,便可激活拓展掃描顯微鏡模式。

得益于NX系列原子力顯微鏡的模块化设计,其产品线的配置兼容性大大提高


同軸高功率光學集成LED照明和CCD系統

擷取22.PNG定致物镜配有超长工作距离(50mm,0.21的数值孔径,1.0μm的分辨率),带来前所未有的镜头清晰度。同軸光源設計让用户可轻易地在样品表面找寻找测试区域,物镜最小分辨率为0.7μm。得益于CCD的高端傳感器,在获得较大视场的同时,但分辨率却不受影响。由軟件控制的LED光源能为样品表面提供足够的照明,便于清晰观察样品。


掃描頭滑動嵌入式設計

你只需滑动嵌入燕尾导执便可轻松更换原子力顯微鏡扫描头。

該設計可將掃描頭自動鎖定至預對准的位置,無須調節激光位置,

激光自動投射在針尖上。借助于鄉優異的四象限檢測器,

顯微鏡可精確成像並可准確測定力,距離曲線。


自動Z軸移動和聚焦系統

高度限行Z軸移動和聚焦系統,可以得到清晰的視野和圖像,用戶通過軟件界面進行操作,

由高精度步進電機驅動,即使液體或者透明樣品也可快速找到樣品表面。


高速24位數字電子控制器


所有NX系列的原子力顯微鏡都是由相同的NX電子控制器进行控制和处理。

该控制器是个全数字,24位高速控制器,可确保True Non-ContactTM模式下的成像精度和速度。凭借着低噪音设计和高速处理单元,该控制器也是纳米成象和精确电压、电流测量的绝佳选择。嵌入式数字信號處理为原子力顯微鏡带来更为丰富的功能,更好的解决方式,是资深研究员的最佳选择。


344.PNG

XY.Z軸檢測器的24位信號分辨率

XY轴的最小分辨率为0.003nm (50 μm XY掃描器)

Z轴的最小分辨率为0.001nm (50 μm Z掃描器)


嵌入式數字信號處理功能

三个鎖相放大器

探針彈簧系數校准(熱方法)

數字化Q控制


集成式信號端口

專用可編程信號輸入/輸出端口

7個輸入端口和3個輸出端口



Park NX 20

世界上最精准和最容易操作的AFM


簡單的探針和樣品更換


獨有的專利設計讓您輕易地用手從側面更換新的探針和樣品。

借助安裝懸臂式探針夾頭中于預先校准的探針位置,無須再進行繁瑣的激光調節工作。


帶有兩級反饋系統的閉環XY掃描器

XY掃平板掃描器的每個軸上的低噪聲位移傳應器,

可以在进行大扫描范围时提高樣本扫描正交性。

次级傳感器会对非线性和非平面位置错误进行补偿,最真实的还原样品的形貌。


EasyTipExchange&CloseloopXYscanWithDualServoSystemForIncreasedAccuracy (1).jpg



閃電般快速的自動進針

自動的探針樣品進針功能能讓用戶無需進行幹預操作。

通过监测悬臂接近表面的反应,Park NX20能够在探针装载后,十秒内自动快速完成探针进针操作。高速、轴掃描器的快速信息反馈和NX電子控制器的低噪声信號處理使得探针无需用户干预就能快速接触样品表面。


主動溫控隔音罩

专为Park NX20设计的隔音罩,主动进行温度调节功能,保证侧试环境在一个完全稳定的热环境中。 Park NX20 还具有主动隔振功能,完全与外界的声、光噪声隔离,因此测试的准确性将不受到外界干扰。


操作簡單-创新的控制设计使Park NX20能够快速达于温度平衡

節省操作時間-關閉隔音罩10分鍾內可保持測試環境低于0.05°C的溫差


LightningFastAutomaticTipApproach&ActiveTemperatureControlledAE.jpg



Park NX20

可滿足各種測試需求


Park NX20可以满足科研工作者需要的各种扫描模式,并能满足您的所有研究需求。


表面粗糙度測量

真正非接觸模式

輕敲模式


電學性能測量

導電AFM(ULCA和VECA)

靜電力顯微鏡(EFM)

壓電力顯微鏡(PFM)

掃描電容顯微鏡(SCM)

扫描開爾文探針显微镜(SKPM)

掃描電阻顯微鏡(SSRM)

掃描隧道顯微鏡(STM)

光電流顯微鏡(Tr-PCM)


機械性能測量

力調制顯微鏡(FMM)

力-距離(F-D)曲線

力譜成像

側向力顯微鏡(LFM)

納米壓痕

納米刻蝕

相位成像


熱特性

掃描熱感顯微鏡(SThM)


磁特性

磁力顯微鏡(MFM)

NX20_AFMimages.jpg



高級選項

定制你独有的原子力顯微鏡


自動數據收集和分析,適合工業客戶産線測量


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Park的自動化控制軟件,根據你的預設程序,自動進行AFM測量。它可以准確地收集數據,執行模式識別,並使用它的尋邊器和光學模塊進行分析,不需要人工介入,爲您節省測量時間。







傾斜樣品傾角夾具,可以幫助您進行樣品側壁成像

777.PNG


NX20的創新架構讓您可以檢測樣品的側壁和表面,並測量它們的角度。這項設計賦予了這個單位更深的靈活性,您可以做更多的創新研究和獲得更深的見解。

傾斜角度:10°、15°和20°

樣品尺寸:20mm x 20 mm

樣本厚度:2mm





22.PNG嵌入主動溫度控制的隔音罩可以讓您采取更精確的測量

創新設計使系統快速達到其溫度平衡

10分鍾內使測試環境溫差小于0.05°C

集成式主動減震台,優于老式的氣動平台,減震效果更佳


閉環控制電動位移台

XY載台馬達位移機械分辨爲1μm,重複率爲2μm

Z向馬達位移分辨率爲0.1μm,重複率爲1μm


樣品盤

专用芯片樣品盤

真空吸附盤

最大200mm晶圓盤


探針夾具

固定掃描探針

可進行導電學性能測試

針尖電壓:-10V~+10V


XY掃描器                  Z掃描器

20μm x20μm                 15μm

50μm x50μm                 30μm

100μm x100μm



精確的溫度控制

加熱和冷卻台(0~180°C)

250°C加熱台

600°C加熱台





Park NX20

技術參數


掃描器

XY掃描器

闭环控制XY平板掃描器

扫描范围:100μm x 100μm

50μm x 50μm

25μm x 25μm

20位位置控制和24位位置傳感器


Z掃描器

导向强力Z掃描器

掃描範圍:15μm

30μm

20位位置控制和24位位置傳感器


視場&CCD

同軸光源設計

10倍光學物鏡和數碼放大

光學物鏡视场:840μm x 630μm

CCD:5MP


光學物鏡

10X(0.21 NA)超长工作距离镜头的物镜

20X(0.42 NA)高分辨率,长工作距离镜头的物镜


軟件

SmartScan

专用系统控制和数据采级軟件

智能掃描模式

通過外部程序控制腳本級別(選配)


NXI

AFM数据分析軟件


電性能

信號處理

ADC:18通道

ADC通道(64MSPS)

24-bits ADC的X,Y和Z掃描器位置傳感器

DAC:12通道

ADC通道(64MSPS)

20bits DAC的X,Y和Z掃描器定位

最大數據量:4096X4096像素


集成功能

3通道数字鎖相放大器

探針彈性系數校准(熱方法)

數據Q控制


外部信號訪問

20個嵌入式舒輸入/舒出口

5个TTL输出:EOF,EPL,EOP,Modulation and AC bias


選項/模式

成像模式

真正非接觸模式

接觸模式

側向摩擦力顯微術(LFM)

相位成像

輕敲模式


電學特性測量

掃描電容顯微鏡(SCM)

导电原子力顯微鏡

靜電力顯微鏡(EFM)

壓電力顯微鏡(PFM)

扫描開爾文探針显微镜(SKPM/KPM)

壓電力顯微鏡PFM


一般特性

磁力顯微鏡(MFM)

掃描熱感顯微鏡(SThM)

力一距離(F-D)曲線

掃描隧道顯微鏡(STM)

力調制顯微鏡(FMN)

納米壓痕

納米刻蝕

納米操控


選項

樣品基座

具有溫控性能的隔音罩

液體探手

液池

溫控台

外部偏置模塊

信號獲取模塊


運動位移平台

XY行程範圍:150mm(200mm選配)

Z行程範圍:25mm

XY載台馬達位移機械分辨率爲1μm,重複率爲2μm

Z向馬達位移機械分辨率爲0.1μm,重複率爲1μm


樣品基座

樣品最大尺寸:150mm(200mm選配)

真空樣品吸附


擷取ppp.PNG



注:该儀器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

售後服務承諾

免費上門安裝:是

保修期:1年

是否可延長保修期:是

保內維修承諾:免費維修更換零件

报修承诺:24小时响应,48解决相关问题或者具体维修解決方案

免费儀器保养:不少于一次免费现场保养维护

免費培訓:3-5人次系統操作/維護/保養培訓

现场技術咨詢:有

解決方案

  • 電子 |
  • 綜合

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典型用戶

用戶單位 采購時間 采購數量
  • 複旦大學 2015-12-24 1
  • 浙江大學 2016-01-11 1
  • 江西師範大學 2016-03-25 1
  • 中科院上海計物所 2019-04-25 1
  • 曲阜師範大學 2019-06-06 1

Park帕克原子力顯微鏡

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常用搭配

  • 電子束刻蝕 |
  • 掃描電鏡 |
  • 納米壓痕儀

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