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納米尺度3D光學幹涉測量系統VS1800

  • 型號 VS1800
  • 産地 日本
  • 樣本 暫無
  • 品牌日立

核心參數

  • 儀器种类 超高速激光共聚焦显微成像系統
  • 産地类别 进口儀器

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  • 營業執照已審核
  • 品牌性質經銷商
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納米尺度3D光學幹涉測量系統VS1800 産品介紹 用戶評論

産品介紹

産品介紹:

納米尺度3D光學幹涉測量系統VS1800應用光幹涉現象,對微細的表面形貌進行測量,可實現高性能薄膜、半導體、汽車零配件、顯示器等行業所要求的高精度測量。而且還能以無損傷方式進行多層膜的層結構以及層內部的異物測量。

 

 

主要特點:

n  采用光幹涉方式,非接觸測量

n  3D測量支持線粗糙度和面粗糙度測量

n  自動粗糙度參數選擇(ISO25178

n  毫米級大面積測量

n  高精度測量(垂直方向分辨率0.01nm

n  快速、高重複性測量

n  多層薄膜和薄膜內層缺陷分析

 

照明系統

鹵素光源,波長530nm

相機

标准相機(640x480像素),高像素相機可選(1024x1024像素)

物鏡

2.5x5x10x20x50x110x可選

顯微鏡控制

Z軸馬達控制

樣品台

Type1Tpye2Type3

減震台

被动式減震台,主动式減震台可選

掃描器

机械马达掃描器,压电陶瓷掃描器可選

測量軟件

VS-MeasureVS-Viewer

 


注:该儀器未取得中华人民共和国医疗器械注册证,不可用于临床诊断或治疗等相关用途

天美(中国)科学儀器有限公司

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常用搭配

  • 生物顯微鏡 |
  • 紅外顯微鏡 |
  • 偏光顯微鏡 |
  • 立體顯微鏡

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